瑞士VAT 10.8 UHV超高真空闸阀

瑞士VAT  10.8 UHV超高真空闸阀

公司介绍：

VAT（Vakuumventile AG）是瑞士真空阀门厂商，总部位于瑞士 Haag。作为全球超高真空阀企业，产品主打低漏率、低颗粒污染，广泛用于半导体刻蚀、镀膜及科研真空装置，是真空工艺核心部件供应商。

产品介绍：

一VAT 10.8 UHV超高真空闸阀

产品特点：

1.VATLOCK 技术：关闭位置机械锁定，确保可靠密封，同时避免密封板摩擦，延长寿命。

2.无润滑剂设计：杜绝颗粒污染风险，适合洁净真空环境。

3.高烘烤能力：坚固结构支持 250 °C 烘烤，满足 UHV 系统除气需求。

4.波纹管密封：轴封采用金属波纹管，确保长期免维护运行。

典型应用：

同步辐射、粒子加速器、科研超高真空腔体、半导体 UHV 工艺设备、表面分析仪器、薄膜沉积超高真空系统。

VAT 10836-CE01 技术参数：

产品系列：Series 10.8 UHV Gate Valve（超高真空闸阀）

公称通径：DN 63 至 DN 320 (2½" – 12")

压力范围：1 × 10⁻¹⁰ mbar 至 1.6 bar (abs)

阀体材质：不锈钢 (AISI 304 / 316L)

密封技术：VATLOCK 技术（无摩擦机械锁定）

驱动方式：手动（曲柄手柄）、气动（双作用/三位置）

法兰接口：ISO-F、CF-F、ASA-LP、JIS（可选客户定制）

漏率：阀体 < 5 × 10⁻¹⁰ mbar·l/s；阀座 < 1 × 10⁻⁹ mbar·l/s

耐温上限：250 °C（手动驱动/阀体开启状态）

使用寿命：50,000 次循环

型号列表：

VAT 10836-CE01

VAT 10836-CE08

VAT 10836-CE14

VAT 10836-CE24

VAT 10836-CE34

VAT 10836-CE44

VAT 10836-CE48

VAT 10840-CE01

VAT 10840-CE08

VAT 10840-CE14

VAT 10840-CE24

VAT 10840-CE34

VAT 10840-CE44

VAT 10844-CE01

VAT 10844-CE08

VAT 10844-CE14

VAT 10844-CE24

VAT 10844-CE34

VAT 10844-CE44

VAT 10846-CE01

瑞士VAT  10.8 UHV超高真空闸阀