德国MUEGGE等离子组件MA3000C-403BB

德国MUEGGE等离子组件MA3000C-403BB

公司简介：

MUEGGE 代表着技术和专业知识，激发了定制解决方案的灵感。对工业流程的深入了解使我们的高技能专家能够为您提供所需的所有支持。作为工业微波和微波辅助等离子系统制造商，我们开发可靠、经济高效且可持续的机器。在工业微波和微波辅助等离子体技术方面拥有 30 多年的经验，其专家团队深入了解工业流程，能够提供从组件设计到系统集成的支持。

应用领域：

工业加热：如橡胶硫化、木材干燥、技术泡沫生产等。

半导体和平板应用：例如半导体制造过程中的蚀刻、沉积等工艺。

光伏领域：在光伏电池生产等环节有应用。

医疗医药：如巴氏杀菌和灭菌、真空干燥等。

实验室培育钻石：为钻石培育过程提供微波能量支持。

光学纤维：在光纤制造过程中可能用于加热或处理等环节。

Power-to-X 应用：将电能转化为气态或液态燃料或化学品，如利用微波加热和微波等离子体工艺将可再生能源产生的电能转化为氢气、一氧化碳和合成气等物质，用于存储和再利用。

产品介绍：

一 等离子体组件

作为等离子组件制造商，可帮助您设计和调整设备，同时保持快速上市和低 CoO。作为我们“交钥匙"产品系列的一部分，我们为各种不同的制造工具和应用提供等离子组件：

氧化物和氮化物层的高密度沉积

大规模沉积和蚀刻

SU-8 距离

高选择性去除有机物质

用于清洁氧敏感材料的非氧化性化学品（H2 工艺）

无损清洁敏感表面（例如传感器）和 3D 结构

各向同性腔室清洁

LIGA 工艺（光刻、电镀和成型）

1. MA3000C-403BB

自由基血浆源（远程血浆源）

过程：蚀刻和沉积

输出连接类型：介电材料

蓝宝石

标称电源电压 [V]：230 / 208

输出功率 [W]：3000

频率 [MHz]：2450

型号列表：

MA1250C-003BC

MA2000C-083BB

MA2000C-143BB

MA2000C-913BB

MA3000C-403BB

MA3000C-283BB

MA3000C-463BB

德国MUEGGE等离子组件MA3000C-403BB