
产品分类
Products简要描述:Advanced Energy CESAR 133等离子发生器 高精度、多频段、工业级射频(RF)等离子发生器,专为半导体、平板显示、太阳能及精密镀膜等高要求工艺设计,提供300W~5kW 功率与 2/4/13.56/27.12/40.68MHz 多频段选择。
在线咨询
联系电话:18510938576
Advanced Energy CESAR 133等离子发生器
公司简介:
Advanced Energy(AE,优良能源工业) 是精密电源、测量与控制技术跨国企业,核心服务于半导体、工业加热、医疗、数据中心等高精尖制造领域,是你之前咨询的 THYRO-A 可控硅功率控制器的品牌母公司。
Advanced Energy CESAR
产品优势:
稳定可靠:采用成熟 E 类放大器架构,适应高失配负载与恶劣等离子环境
精准控制:功率调节精度高(≤±1%),支持脉冲模式(1~30kHz)
灵活通用:全系列覆盖主流频段与功率,200/400VAC双电压输入
易用智能:大 LCD 液晶面板、中文 / 英文菜单、多路通讯与模拟接口
安全保护:过流、过压、过温、驻波比(VSWR)全保护,CE/SEMI 认证
典型应用:
半导体:PECVD/ICP/RIE 刻蚀、薄膜沉积、等离子清洗
显示面板:LCD/OLED 镀膜、刻蚀、表面处理
太阳能:PECVD、硅片清洗、扩散工艺
工业镀膜:装饰 / 功能涂层、光学镀膜、玻璃镀膜

型号列表:
CESAR 136
CESAR 1310
CESAR 1320
CESAR 1330
CESAR 1350
CESAR 133
CESAR 026
CESAR 046
CESAR 276
CESAR 406

Advanced Energy CESAR 133等离子发生器