MLI-500 KrF激光器的工作原理
MLI-500 KrF 激光器是一种准分子激光器，其工作原理基于受激辐射，通过泵浦源将能量注入增益介质，实现粒子数反转，再经光学谐振腔放大产生激光输出，具体如下：
泵浦与粒子数反转： MLI-500 KrF 激光器通常采用放电泵浦的方式，向激光腔内的气体混合物（主要是 Kr 和 F₂，可能还包含缓冲气体 Ne 等）施加高电压，产生快速脉冲放电。电子在电场中加速并与气体分子碰撞，使气体分子电离并激发，将能量传递给气体，大量粒子从基态跃迁到激发态，形成粒子数反转，即使得激发态粒子数多于基态粒子数，此时增益介质具备了光放大能力。
自发辐射引发受激辐射：处于激发态的粒子是不稳定的，会发生自发辐射，随机地释放出光子。其中，部分沿谐振腔轴线方向传播的光子，会与其他激发态粒子碰撞，触发受激辐射。根据受激辐射原理，一个入射光子会引发粒子释放出一个与之相同频率、相位和方向的光子，从而产生相干光。
光放大与振荡：光学谐振腔由两个反射镜组成，一个为全反射镜，另一个为部分反射镜。受激辐射产生的光子在谐振腔内来回反射，不断与激发态粒子相互作用，引发更多的受激辐射，使光子数量不断增加，光强逐渐放大，形成持续的光振荡。
激光输出：当光强在谐振腔内放大到超过谐振腔的损耗（如吸收、散射等）时，一部分光会从部分反射镜端射出，形成高亮度、高方向性的激光束。MLI-500 KrF 激光器输出的是波长为 248nm 的紫外激光，可应用于光刻、材料加工等领域。
MLI-500 KrF激光器的工作原理
更新时间：2025-08-07 
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