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    MLI-500 KrF激光器的工作原理

    MLI-500KrF激光器的工作原理MLI-500KrF激光器是一种准分子激光器，其工作原理基于受激辐射，通过泵浦源将能量注入增益介质，实现粒子数反转，再经光学谐振腔放大产生激光输出，具体如下：泵浦与粒子数反转：MLI-500KrF激光器通常采用放电泵浦的方式，向激光腔内的气体混合物（主要是Kr和F₂，可能还包含缓冲气体Ne等）施加高电压，产生快速脉冲放电。电子在电场中加速并与气体分子碰撞，使气体...

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